• 탄화 규소 기판 연마의 주요 과제는 무엇입니까? 탄화 규소 기판 연마의 주요 과제는 무엇입니까? Oct 14 , 2024
    고성능 반도체 소재인 탄화규소(SiC)는 우수한 물리적, 화학적 특성으로 인해 전력 전자, 무선 주파수 마이크로파, 광전자공학 및 기타 분야에서 큰 응용 가능성을 보여줍니다. 그러나 탄화규소의 높은 경도와 안정적인 격자 구조는 연마 공정에 큰 어려움을 안겨줍니다. 본 논문에서는 탄화규소 기판 연마가 어려운 이유에 초점을 맞춰 관련 분야의 연구 및 응용에 참고 자료를 제공하고자 한다. 첫째, 연마문제로 인한 높은 경도와 취성 탄화규소의 초고경도는 놀라운 특성 중 하나이며, 모스 경도는 최대 9.5로 다이아몬드에 이어 두 번째입니다. 이러한 높은 경도 특성으로 인해 연마 공정에서는 동일한 경도의 연마재와 도구를 사용해야 합니다. 그러나 경도가 높은 연마재는 연마 과정에서 연마 도구의 급격한 마모로 이어지는 경우...
  • 대규모 응용 분야의 탄화 규소 가공의 어려움을 어떻게 해결합니까? 대규모 응용 분야의 탄화 규소 가공의 어려움을 어떻게 해결합니까? Oct 15 , 2024
    탄화규소 기판의 가공은 어렵지만, 전자 부품에 단결정 탄화규소를 적용하는 것이 미래 개발 방향이 되도록 탄화규소 장치가 대규모 응용 및 홍보가 되도록 하기 위해, 탄화규소 가공이 어려운 문제를 해결할 수 있는 방법을 찾는 것이 필요하다. 현재 SiC 재료 가공 기술은 주로 방향 절단, 칩 거친 연삭, 미세 연삭, 기계 연마 및 화학 기계 연마(미세 연마) 공정을 가지고 있습니다. 그 중 화학기계적 연마는 최종공정으로, 그 공정방법의 선택, 공정경로 배치, 공정변수의 최적화는 연마효율과 가공비용에 직접적인 영향을 미친다. 그러나 SiC 재료의 높은 경도와 화학적 안정성으로 인해 기존 CMP 연마 공정에서는 재료 제거율이 낮습니다. 이에 업계에서는 플라즈마 보조, 촉매 보조, 자외선 보조, 전기장 보조 등 평탄...
  • RF 마이크로파 전자 장치에서 알루미나 기판의 응용 장점 RF 마이크로파 전자 장치에서 알루미나 기판의 응용 장점 Oct 17 , 2024
    현대 전자 기술의 급속한 발전으로 인해 기판 재료에 대한 RF 및 마이크로파 전자 산업의 요구 사항이 날로 증가하고 있습니다. 알루미나 기판은 독특한 물리적, 화학적 특성으로 인해 이 분야에서 가장 관심을 끄는 재료 중 하나가 되었습니다. 본 논문에서는 이를 여러 측면에서 자세히 연구할 것이다. 알루미나 세라믹 기판의 응용 장점 RF 마이크로파 전자 산업에서 알루미나 기판의 적용 장점은 주로 다음 측면에 반영됩니다. 고유전율 알루미나 세라믹 기판은 유전율이 높아 고성능을 유지하면서 회로를 소형화할 수 있습니다. 이 기능은 오늘날 전자 부품의 소형화 및 통합을 추구하는 데 특히 중요합니다. 좋은 열 안정성 알루미나 세라믹 기판은 열 안정성이 좋고 온도 표백이 적으며 넓은 온도 범위에서 안정적인 전기적 특성을 ...
  • 현대 통신 기술에서 고정밀 마이크로파 부품의 중요성? 현대 통신 기술에서 고정밀 마이크로파 부품의 중요성? Oct 17 , 2024
    현대 마이크로파 통신 기술의 급속한 발전으로 고성능, 고정밀도의 마이크로파 회로 부품 설계가 점점 더 중요해지고 있습니다. 마이크로파 무선 주파수(RF) 모듈에서 박막 회로 기술은 고유한 장점을 지닌 핵심 설계 방법이 되었습니다. 본 논문에서는 알루미나 기판을 기반으로 하는 박막 마이크로스트립 회로, 박막 필터, 박막 부하, 박막 이퀄라이저 및 박막 전력 분배기를 포함하는 여러 가지 박막 회로 구성 요소를 자세히 소개합니다. 이러한 구성 요소는 마이크로파 회로에서 대체할 수 없는 역할을 하며 설계 정확도와 성능은 전체 마이크로파 시스템의 성능에 직접적인 영향을 미칩니다. 알루미나 기판의 회로 응용 1 박막 마이크로스트립 회로 알루미늄 산화물 세라믹 기판은 박막 마이크로스트립 회로를 설계하는 데 사용되며 금층...
  • 알루미나 기판 설계의 박막 구성 요소 알루미나 기판 설계의 박막 구성 요소 Oct 18 , 2024
    현대 전자 기술의 급속한 발전으로 마이크로파 RF 부품 및 고주파 회로의 설계가 점점 더 복잡해지고 있으며 부품의 성능 요구 사항도 점점 더 높아지고 있습니다. 이러한 요구를 충족시키기 위해 첨단 마이크로 전자 기술인 박막 기술은 마이크로파 부품 및 고주파 회로 설계에서 점점 더 중요한 역할을 하고 있습니다. 이 기사에서는 박막 감쇠기, 박막 커플러, 박막 브리지, 박막 저항기, 박막 커패시터를 포함하여 알루미나 기판 설계를 기반으로 하는 여러 박막 구성 요소를 소개합니다. 이러한 구성 요소는 고유한 특성과 광범위한 응용 분야를 통해 마이크로파 RF 구성 요소 및 고주파 회로에서 없어서는 안될 역할을 합니다. 1 필름 감쇠기 알루미나 세라믹 기판을 이용한 박막 감쇠기의 설계는 마이크로파 RF 모듈의 큰 신호...
  • 반도체 기술을 위한 고품질 탄화규소 기판을 준비하는 방법은 무엇입니까? 반도체 기술을 위한 고품질 탄화규소 기판을 준비하는 방법은 무엇입니까? Oct 22 , 2024
    탄화규소(SiC)는 반도체 기술의 급속한 발전과 함께 우수한 물리적, 화학적 특성을 지닌 반도체 소재로서 고성능 전자소자 분야에서 큰 응용 가능성을 보여주고 있다. 그러나 SiC 소재의 장점을 최대한 활용하려면 고품질 탄화규소 기판을 준비하는 것이 중요한 부분입니다. 이 논문은 최종 SiC 기판이 고성능 전자 장치의 엄격한 요구 사항을 충족할 수 있도록 일련의 정밀한 공정 단계를 통해 SiC 기판의 정밀한 준비 공정을 논의하는 것을 목표로 합니다. 1. 초기 치료: 부드럽고 둥글게 단결정 성장 후 얻은 SiC 결정은 표면의 요철과 성장 결함을 제거하기 위해 먼저 평활화되어야 한다. 이 단계는 후속 처리를 위한 좋은 기반을 제공합니다. 그런 다음 크리스탈 앵커의 가장자리를 매끄럽게 하기 위해 롤링 공정을 수행...
  • 절단 기술은 탄화규소 기판 품질 및 후속 공정에 어떤 영향을 미칩니까? 절단 기술은 탄화규소 기판 품질 및 후속 공정에 어떤 영향을 미칩니까? Oct 22 , 2024
    SiC(탄화규소) 기판 제조 공정에서 SiC 잉곳 절단은 중요한 단계입니다. 이는 기판의 표면 품질과 치수 정확도를 직접적으로 결정할 뿐만 아니라 비용 관리에도 결정적인 영향을 미칩니다. 표면 거칠기(Ra), 총 두께 편차(TTV), 뒤틀림(BOW) 및 굽힘(WARP)과 같은 절단 공정에 의해 결정되는 주요 매개변수는 기판의 최종 품질, 수율 및 생산 비용에 큰 영향을 미칩니다. . 또한 절단 품질은 후속 연삭 및 연마 공정의 효율성 및 비용과 직접적인 관련이 있습니다. 따라서 SiC 잉곳 절단 기술의 개발과 발전은 전체 탄화규소 기판 제조 산업의 수준을 향상시키는 데 큰 의미가 있습니다. 다이아몬드 톱날, 원형 톱날, 제거, 큰 Ra 차이, 큰 변형, 넓은 슬릿, 느린 속도, 낮은 정밀도, 큰 소음 전기 ...
  • 전력 전자 장치에서 실리콘 카바이드 기판의 이점은 무엇입니까? 전력 전자 장치에서 실리콘 카바이드 기판의 이점은 무엇입니까? Oct 24 , 2024
    탄화 규소 기판은 차세대 반도체 제품으로서 우수한 물리적, 화학적 특성으로 인해 전력 전자 장치 분야에서 큰 응용 가능성을 보여주었습니다. 그러나 SiC 잉곳의 고효율, 저손실 절단은 양산을 제약하는 핵심 기술 중 하나이다. 현재 모르타르 와이어 절단과 다이아몬드 와이어 절단은 SiC 잉곳 절단의 두 가지 주류 기술이며 연마재 도입 방식, 가공 효율성, 재료 손실 및 환경 영향 측면에서 상당한 차이가 있습니다. 이 글에서는 이 두 가지 절단 기술의 특성을 비교 분석하고 SiC 절단 공정의 최적화 방향에 대해 논의하는 것을 목표로 합니다. 1. 연마재 가져오기 모드 및 처리 효율성 · 모르타르 와이어 절단 : 유리 연마재를 사용하여 가공 속도가 상대적으로 느립니다. ·다이아몬드 와이어 절단: 전기 도금, 수지...
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