소결 공정 매개 변수는 알루미나 기판의 특성에 어떤 영향을 줍니까?

Nov 01 , 2024

고성능 소재인 알루미나 기판은 전자, 항공우주, 신에너지 분야에서 널리 사용되어 왔습니다. 준비 공정에는 많은 복잡한 공정이 포함되며, 주조 및 건조 공정이 기판의 품질을 보장하는 핵심 링크입니다. 본 논문에서는 원료 조성, 캐스팅 필름 두께, 소결 공정 변수가 알루미나 세라믹 기재의 특성에 미치는 영향을 조사하였고, 캐스팅 후 건조 과정과 그 메커니즘이 기재의 품질에 미치는 영향을 분석하였다.

Thermally stable alumina substrate

원료배합 및 캐스팅 필름 두께 조절:

알루미나 세라믹 기판의 최종 두께와 두께 균일성은 원료 배합의 정확한 비율과 주조 필름 스트립의 적절한 두께에 의해 직접적인 영향을 받습니다. 적절한 원료 비율은 안정적인 캐스팅 슬러리를 형성하는 데 도움이 되며, 필름 두께의 선택에 따라 그린 스트립의 초기 모양이 결정되며, 이는 기판의 기본 품질을 공동으로 결정합니다.

소결 공정 변수의 영향:

Debonding 소결은 기판 준비의 핵심 단계이며 온도 및 시간과 같은 공정 매개변수는 기판의 외관 품질과 표면 거칠기에 직접적인 영향을 미칩니다. 이러한 매개변수를 최적화하면 강도 증가 및 다공성 감소와 같은 기판의 전반적인 성능이 크게 향상될 수 있습니다.

건조공정의 중요성과 단계적 실시:

주조 슬러리의 점도가 높기 때문에 건조 공정은 그린 스트립의 강도와 완전한 박리를 보장하는 데 중요합니다. 건조과정에서 그린시트의 내부응력이 발생 및 방출되고, 용제의 휘발로 인한 비중의 불균형으로 인해 정확한 건조공정의 수립이 요구됩니다. 정속건조 단계는 표면의 액상막을 빠르게 증발시키는 것을 목표로 하고, 감속건조 단계는 내부 용매의 느린 확산에 초점을 맞춰 건조 균일성을 확보하고 균열, 뒤틀림 등의 결함을 방지합니다.

건조과정의 구체적인 분석:

그린 스트립의 건조 공정에서는 표면의 액막 증발 속도가 내부 용매의 확산 속도보다 훨씬 높기 때문에 단계적으로 수행해야 합니다. 일정 건조 단계에서는 건조 속도가 일정하여 표면 용매의 증발 속도와 일치하며 표면 액상 필름이 주로 제거됩니다. 표면건조가 완료되면 감속건조단계로 진입하며, 내부용매가 표면으로 확산되는 속도에 맞춰 건조속도를 점차 감소시켜 건조공정의 균일성과 안정성을 확보한다.

요약하면, 알루미나 세라믹 기판의 준비 공정에는 원료 공식, 주조 필름 두께 및 탈점화 소결 공정 매개변수의 엄격한 제어가 필요합니다. 핵심 단계로서 기판의 두께 균일성, 외관 품질, 표면 거칠기 및 기타 엔지니어링 적용 지표를 보장하려면 건조 공정의 정확한 구현이 중요합니다. 다양한 단계에서 일정한 속도와 감소된 속도 건조를 구현함으로써 그린 시트 내부의 응력 변화를 효과적으로 제어할 수 있으며 건조 결함을 피할 수 있어 고성능 알루미나 세라믹 기판 제조에 대한 강력한 보장을 제공합니다. 미래에는 재료 과학 및 준비 기술의 지속적인 발전으로 알루미나 세라믹 기판의 준비 공정이 더욱 정교하고 지능화되어 다양한 분야에 응용할 수 있는 고품질 재료 기반을 제공할 것입니다.

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